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离子反应

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在水溶液中的离子反应与平衡的教学中,应该从电离平衡、水解平衡、沉淀溶解平衡等存在的证明及平衡移动入手进行分析,形成并发展培育学生的微粒观、平衡观和守恒观。在组织学生开展实验探究活动时,注意实验前的分析和对实验现象的分析解释,对假设预测、试验方案、实验结论进行完整论证,
在水溶液中的离子反应与平衡的教学中,应该从电离平衡、水解平衡、沉淀溶解平衡等存在的证明及平衡移动入手进行分析,形成并发展培育学生的微粒观、平衡观和守恒观。在组织学生开展实验探究活动时,注意实验前的分析和对实验现象的分析解释,对假设预测、试验方案、实验结论进行完整论证,
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一、实验目的和意义

化学气相淀积(CVD)工艺是集成电路制造中用来制备薄膜的一种重要方法,CVD的基本理论涉及到许多方面,包括气相化学反应、热力学、动力学、热传导、流体力学、表面反应、等离子反应、薄膜物理等。

为了使学生能够更深入、更直观地理解化学气相淀积工艺的工艺原理,掌握不同工艺条件对化学气相淀积工艺淀积效果的影响,这里采用器件与工艺TCAD仿真工具Silvaco来对化学气相淀积工艺进行模拟实验。

二、实验原理

淀积时间、淀积速率等参数都会影响化学气相淀积工艺的效果,通过改变这些参数可以分析
一、实验目的和意义 化学气相淀积(CVD)工艺是集成电路制造中用来制备薄膜的一种重要方法,CVD的基本理论涉及到许多方面,包括气相化学反应、热力学、动力学、热传导、流体力学、表面反应、等离子反应、薄膜物理等。 为了使学生能够更深入、更直观地理解化学气相淀积工艺的工艺原理,掌握不同工艺条件对化学气相淀积工艺淀积效果的影响,这里采用器件与工艺TCAD仿真工具Silvaco来对化学气相淀积工艺进行模拟实验。 二、实验原理 淀积时间、淀积速率等参数都会影响化学气相淀积工艺的效果,通过改变这些参数可以分析
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